Product details

Origin:GER

Brand:LAM

Product ID: 810-001915-003

product description 

Dual Endpoint Detector Assembly has specific uses in semiconductor manufacturing 

and other related fields. The following are the main uses of the two-end detector 

assembly:

• Process control: Dual-end detectors are used to monitor and control the progress

  of film deposition, etching, oxidation, and other critical steps in semiconductor

  manufacturing. By detecting changes in material surface or film properties, it can

  determine precisely when the process has reached a predetermined end point,

  ensuring accuracy and consistency at each step.

• Thickness measurement: This module is capable of measuring the thickness of

  layers of material during deposition or etching. This is critical for multi-layer structures,

  such as integrated circuits, where precise control of layer thickness is required. With

  real-time measurements, process parameters can be adjusted to obtain the desired

  layer thickness.

• Composition analysis: In addition to thickness measurement, certain advanced

  dual-end detectors are capable of analyzing the chemical composition of the material

  surface. This is important to verify material composition, detect impurities or contaminants,

  and ensure process compatibility.

• Increase yield and reduce waste: By accurately detecting process end points in real

  time, the two-end detector helps to avoid over - or under-processing, thereby increasing

  production efficiency, reducing material waste, and reducing manufacturing costs.

• Automation and integration: Two-end detector components are typically integrated with

  automated systems to provide real-time data feedback for input to process control algorithms.

  This integration allows for a higher degree of automation and intelligence in the manufacturing

  process.

• Quality control: Consistency and reliability are critical in semiconductor production. Dual-end

  point detectors help ensure product quality and batch to batch consistency by providing

  real-time information on the state of the process.

It is important to note that the design and functionality of specific two-end detector assemblies 

may vary by manufacturer and application. Therefore, when using or maintaining these components,

 you should refer to the technical documentation and guidelines provided by the manufacturer.

Двойная сборка конечных детекторов имеет специфическое применение в производстве полупроводников

И в других смежных областях. Ниже приведены основные виды применения двухконтурного детектора

В сборе:

Технологический контроль: двухконтурные детекторы используются для мониторинга и контроля хода работ

Осаждение пленки, гравюра, окисление и другие критические этапы в полупроводнике

- на производстве. Обнаружив изменения поверхности материала или свойств пленки, он может

Точно определить, когда процесс достиг заданной конечной точки,

Обеспечение точности и последовательности на каждом этапе.

Измерение толщины: этот модуль способен измерять толщину

Слой материала во время осаждения или штабелирования. Это имеет решающее значение для многослойных структур,

Например, интегральные схемы, где требуется точное управление толщиной слоя. с

Измерения в реальном времени, параметры процесса могут быть скорректированы для получения желаемого

Толщина слоя.

Анализ состава: в дополнение к измерению толщины некоторые продвинутые

Двухконтурные детекторы способны анализировать химический состав материала

- на поверхности. Это важно для проверки состава материала, обнаружения примесей или загрязняющих веществ,

И обеспечить совместимость процессов.

Повышение урожайности и сокращение отходов: путем точного определения конечных точек процесса в реальном масштабе времени

Со временем, двухконторный детектор помогает избежать излишней или недостаточной обработки, тем самым увеличивая

Эффективность производства, сокращение материальных отходов и снижение производственных затрат.

Автоматизация и интеграция: компоненты двухкомпонентного детектора, как правило, интегрированы с ними

Автоматизированные системы для обеспечения обратной связи в режиме реального времени для ввода данных в алгоритмы управления процессами.

Эта интеграция позволяет повысить уровень автоматизации и интеллекта в производстве

- в процессе.

Контроль качества: последовательность и надежность имеют решающее значение в производстве полупроводников. С двойным концом

Точечные детекторы помогают обеспечить качество продукции и последовательность от партии к партии, предоставляя

Информация о состоянии процесса в режиме реального времени.

Важно отметить, что конструкция и функциональность конкретных двухконтурных сборки детекторов

Может варьироваться в зависимости от изготовителя и применения. Поэтому при использовании или обслуживании этих компонентов

Вы должны ознакомиться с технической документацией и рекомендациями, представленными изготовителем.