LAM
Home > Product > LAM

LAM 853-015130R-503-C-ELM RF Mini-Match

  • Warranty: 365 days

    Quality: Original module

    Condition: New / Used

    Warehouse: Spot

    Delivery time: Shipped in 3 days after payment


    Mail: 3598571032@qq.com

    Phone/Wechat/Whatsapp:+86 15339539190

  • Details

Product details


Origin:GER


Brand:LAM


Product ID: 853-015130R-503-C-ELM


810-800082-043.jpg


product description 


LAM Research Specific components or assemblies that deal with radio frequency (RF) 

power matching in semiconductor processing equipment. LAM Research is a leading 

supplier of wafer processing equipment and services to the semiconductor industry.


In plasma etching or deposition systems commonly used in semiconductor manufacturing,

 the RF Mini-Match will be a compact device designed to optimize the transfer of RF power

 from the generator to the plasma chamber. Its main function is to ensure efficient power

 delivery by matching the impedance of the RF generator to that of the load (plasma 

chamber and its contents).


Here are some things to know about the RF Mini-Match:


  • Impedance matching: RF mini matching ensures that the impedance seen by the RF

    generator matches the impedance of the plasma cavity. This prevents power reflection,

    which can damage the generator or reduce the efficiency of power transfer to the plasma.

  • Compact design: As the name suggests, the RF Mini-Match is designed to be small

    and efficient, making it easier to integrate into LAM Research's devices while minimizing

    the overall footprint.

  • Tuning and control: RF mini-matching may include tunable elements, such as capacitors

    or inductors, that can be dynamically adjusted to maintain optimal impedance matching

    as process conditions change.

  • Reliability and durability: Components used in semiconductor manufacturing equipment

    must be highly reliable and able to withstand harsh environments. The RF Mini-Match is

    designed and constructed to meet these needs.


Compatibility with LAM systems: The RF Mini-Match is designed to work with LAM Research's 

devices, ensuring compatibility and seamless integration.


For more information, please consult Guizhou Yuanmiao.


ЛБМ исследует конкретные компоненты или узлы, имеющие отношение к радиочастоте (RF)


Сверка мощности в полупроводниковом оборудовании. Я веду исследования


Поставщик оборудования для обработки ваферов и услуг для полупроводниковой промышленности.




В системах плазменной печати или осаждения, обычно используемых в производстве полупроводников,


Мини-матч рф будет компактным устройством, предназначенным для оптимизации передачи мощности рф


От генератора до плазменной камеры. Его основная функция заключается в обеспечении эффективной мощности


Подача газа путем приведения сопротивления рч-генератора в соответствие с нагрузкой (плазма)


Камера и ее содержимое.




Вот некоторые сведения о мини-матче рф:




Соответствие сопротивления: RF mini соответствие гарантирует, что сопротивление видели рф


Генератор совпадает с сопротивлением плазменной полости. Это препятствует отражению силы,


Которые могут повредить генератор или снизить эффективность передачи энергии в плазму.


Компактный дизайн: как следует из названия, RF мини-матч предназначен для малого размера


И эффективно, что облегчает интеграцию в устройства LAM Research при минимизации


Общая площадь территории.


Регулировка и контроль: мини-сверка RF может включать настраиваемые элементы, такие как конденсаторы


Или индукторы, которые могут быть динамически отрегулированы для поддержания оптимального соответствия сопротивления


По мере изменения технологических условий.


Надежность и долговечность: компоненты, используемые в полупроводниковом производственном оборудовании


Должна быть очень надежной и способной выдерживать суровые условия. Мини-матч в рф


Спроектированы и построены для удовлетворения этих потребностей.




Совместимость с LAM systems: RF Mini-Match предназначен для работы с LAM Research's


Устройства, обеспечивающие совместимость и бесперебойную интеграцию.




Для получения дополнительной информации, пожалуйста, проконсультируйтесь с гуйчжоу юанмяо.


Copyright © Yuanmiao Automation Equipment Co., Ltd 

+86 15339539190