Product details

Origin:GER

Brand:LAM

Product ID: 853-017480-002

product description 

Specific types of vacuum switches used in LAM Research's systems, which are assembled 

to meet specific process requirements.

A vacuum switch is a switchgear that operates in a vacuum environment and is typically used

 in high voltage, high current, or high frequency applications. Vacuum switches are critical in 

semiconductor manufacturing, especially in process steps that require high purity environments

 and precise control.

LAM Research may offer specially designed vacuum switches that are precisely assembled 

for reliable and efficient operation in their semiconductor devices. The assembly process may 

include precisely fitting the individual components of the vacuum switch (such as contacts, 

vacuum chambers, operating mechanisms, etc.) together and performing the necessary tests 

and calibrations to ensure their performance meets specifications.

These assembled vacuum switches may be integrated into LAM Research's equipment to control

 plasma, gas flow, power distribution and other key process parameters. Due to the high demand 

for purity and precision in semiconductor manufacturing, the assembly and integration process 

of these vacuum switches must follow strict standards and procedures.

Please note that the specific assembly process, switch type and application will depend on LAM

 Research's specific equipment and process requirements. For more detailed information, it is 

recommended to contact LAM Research directly or refer to its relevant technical documentation 

and materials.

Специальные типы вакуумных переключателей, используемые в системах LAM Research, которые собираются

Выполнение конкретных технологических требований.

Вакуумный выключатель-это переключатель, который работает в вакуумной среде и обычно используется

В высоковольтных, высокотоковых или высокочастотных приложениях. Вакуумные выключатели имеют решающее значение

Производство полупроводников, особенно на технологических этапах, требующих высокой чистоты среды

И точный контроль.

LAM Research может предложить специально разработанные вакуумные выключатели, которые точно собраны

Для надежной и эффективной работы в полупроводниковых устройствах. Процесс сборки может

Включить точную установку отдельных элементов вакуумного выключателя (например, контактов),

Вакуумные камеры, рабочие механизмы и т.д. совместно проводят необходимые испытания

И калибровка для обеспечения соответствия их рабочих характеристик спецификациям.

Эти собранные вакуумные переключатели могут быть интегрированы в оборудование LAM Research для управления

Плазменный, газовый, распределительный и другие ключевые технологические параметры. Из-за высокого спроса

Для чистоты и точности при производстве полупроводников, сборке и интеграции

Эти вакуумные выключатели должны соответствовать строгим стандартам и процедурам.

Обратите внимание, что конкретный процесс сборки, тип переключателя и применение зависят от LAM

Специфическое оборудование и технологические требования. Для более подробной информации, это

Рекомендуется обращаться непосредственно в LAM Research или обращаться к соответствующей технической документации

И материалы.