Product details

Origin:GER

Brand:LAM

Product ID: 853-049542-173

product description 

Rf generator supplied by LAM Research. Rf generator is a kind of equipment that can 

generate RF signal, it has a wide range of applications in semiconductor manufacturing, 

plasma processing, wireless communication testing and so on.

In semiconductor manufacturing, RF generators are often used to generate plasma, which

 is necessary for many critical process steps such as etching, deposition, and cleaning. 

The plasma is produced by applying RF power to the reaction chamber to excite the process

 gas. As a semiconductor equipment supplier, LAM Research offers RF generators that may

 have high efficiency, high stability, easy integration and precise control to meet the stringent 

requirements of semiconductor manufacturing.

LAM RF GENERATOR may contain the following key features:

• High power output: Capable of providing enough RF power to generate the required

  plasma density.

• Frequency stability: The ability to maintain a stable RF output frequency over a long

  period of time to ensure process consistency.

• Low harmonic distortion: The generated RF signal has a lower harmonic content to

  reduce adverse effects on the process.

• Advanced control features: Provide precise power and frequency control, as well as

  integration with external systems.

• High reliability and long life: Designed for long-term stable operation in high-load,

  high-demand industrial environments.

• Easy maintenance and service: Modular design for easy maintenance and replacement

  of parts.

When considering integrating LAM RF GENERATOR into a specific process system, users

 may need to work closely with LAM Research engineers to ensure correct system configuration,

 process optimization, and reliable operation. In addition, the selection, installation, operation 

and maintenance of RF generators should follow appropriate safety standards and best practices.

Радиочастотный генератор, поставленный компанией LAM Research. Rf генератор-это своего рода оборудование, которое может

Генерировать радиочастотный сигнал, он имеет широкий спектр применения в производстве полупроводников,

Плазменная обработка, тестирование беспроводной связи и так далее.

В производстве полупроводников радиочастотные генераторы часто используются для получения плазмы, которая

Необходима для многих важнейших этапов процесса, таких как гравировка, осаждение и очистка.

Плазма производится за счет применения мощности рф к реакционной камере для возбуждения процесса

- на газе. Являясь поставщиком полупроводникового оборудования, LAM Research предлагает рч-генераторы, которые могут работать

Иметь высокую эффективность, высокую стабильность, простоту интеграции и точный контроль, чтобы соответствовать строгим

Требования к производству полупроводников.

ЛВС рф генератор может содержать следующие ключевые функции:

Высокая выходная мощность: способна обеспечить достаточное количество вч-мощности для выработки требуемой мощности

Плотность плазмы.

Стабильность частоты: возможность сохранения стабильной частоты вч на протяжении длительного времени

Период времени для обеспечения последовательности процесса.

Низкое гармоническое искажение: генерируемый RF сигнал имеет более низкое гармоническое содержание

Уменьшение негативного воздействия на процесс.

Расширенные возможности управления: обеспечивает точное управление мощностью и частотой, а также

Интеграция с внешними системами.

Высокая надежность и длительный срок службы: предназначен для долгосрочной стабильной работы в условиях высокой нагрузки,

Промышленная среда с высоким спросом.

Простота обслуживания и обслуживания: модульная конструкция для простоты обслуживания и замены

- по частям.

При рассмотрении вопроса о включении ЛВС рф генератора в конкретную технологическую систему, пользователи

Возможно, потребуется работать в тесном контакте с научно-исследовательскими инженерами LAM для 

обеспечения правильной конфигурации системы,

Оптимизация процессов и надежная работа. Кроме того, выбор, установка, эксплуатация

Техническое обслуживание рч-генераторов должно осуществляться в соответствии с надлежащими стандартами

 безопасности и передовой практикой.