Product details

Origin:GER

Brand:LAM

Product ID: 853-064887-010

product description 

The LAM 13.56 MHz RF source unit module can be used in semiconductor manufacturing 

and other RF applications. This RF source module may be designed to produce a stable, 

high-quality 13.56 MHz RF signal to meet specific process requirements.

In semiconductor manufacturing, RF source modules are commonly used to generate plasma, 

which is necessary for many critical process steps such as etching, deposition, etc. 13.56 

MHz is a commonly used RF frequency because it has a good effect when generating plasma.

LAM 13.56 MHz RF source unit modules may have the following characteristics:

• High stability: Stable RF output can be maintained over a long period of time to ensure

  process consistency.

• High precision control: Provides precise power and frequency control to meet process

  requirements.

• Easy integration: Designed to be easy to integrate into existing semiconductor manufacturing

  systems.

• High reliability: The use of high-quality materials and manufacturing processes to ensure

  long-term stable operation in harsh working environments.

• Modular design: Easy to maintain and replace parts, reducing maintenance costs and time.

It is important to note that specific technical specifications, performance parameters and application

 scope may vary depending on LAM Research's product line and market needs. For more accurate

 information, it is recommended to contact LAM Research directly or consult the relevant technical

 documents and materials.

In addition, when considering the integration of LAM 13.56 MHz RF source unit modules into a specific

 system, users may need to work closely with LAM Research engineers to ensure correct system 

configuration, process optimization, and reliable operation. At the same time, the selection, installation,

 operation, and maintenance of RF source modules must comply with appropriate safety standards

 and best practices.

Модуль источника ЛБМ 13,56 МГЦ рф может использоваться в производстве полупроводников

И другие приложения RF. Этот модуль источника RF может быть сконструирован для производства стабильного,

Высококачественный сигнал 13,56 МГЦ рф отвечает специфическим технологическим требованиям.

В производстве полупроводников модули RF-источника широко используются для получения плазмы,

Что необходимо для многих важнейших этапов процесса, таких как гравюра, осаждение и т.д. 13.56

МГЦ является широко используемой частотой RF, потому что она оказывает хорошее влияние при генерации плазмы.

Модули-носители ЛБМ частотой 13,56 МГЦ RF могут иметь следующие характеристики:

Высокая стабильность: стабильная выходная способность рф может поддерживаться в течение длительного времени

Последовательность процесса.

Управление высокой точностью: обеспечивает точное управление мощностью и частотой для удовлетворения

 технологического процесса

3. Требования.

Простая интеграция: предназначена для интеграции в существующее производство полупроводников

- системы.

Высокая надежность: использование высококачественных материалов и производственных процессов для обеспечения

Долгосрочная стабильная работа в тяжелых условиях труда.

Модульная конструкция: простота в обслуживании и замене деталей, снижение затрат на обслуживание и времени.

Важно отметить, что конкретные технические спецификации, эксплуатационные параметры и применение

Сфера охвата может варьироваться в зависимости от ассортимента продукции и потребностей рынка LAM Research. 

Для более точной информации

Информация, рекомендуется связаться с LAM Research напрямую или проконсультироваться с соответствующей технической

Документы и материалы.

Кроме того, при рассмотрении вопроса о включении модулей исходного блока ЛБМ 13,56 МГЦ рф в отдельный модуль

Система, пользователи могут нуждаться в тесном сотрудничестве с LAM научно-исследовательских инженеров 

для обеспечения правильной системы

Конфигурация, оптимизация процессов и надежная работа. В то же время, выбор, установка,

Эксплуатация и техническое обслуживание модулей RF-источника должны соответствовать соответствующим нормам безопасности

И наилучшей практики.